低溫等離子廢氣設備是采用高壓發生器形成低溫等離子體,在平均能量約5eV的大量電子作用下,使通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子,與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質,使廢氣得到凈化。