低溫等離子凈化設備在外加電場的作用下,介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子,使其電離、解離和激發,然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應,使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質,或使有毒有害物質轉變成無害或低毒低害的物質,從而使污染物得以降解去除。